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製品のご紹介

当社が取り扱っている製品の一部をご紹介します。

簡易コンパクトモデル “IL 600”

● 少量生産のラインやR&Dラボ向けに設計された省スペースのコンパクトな装置です。

 

● 完全なマニュアルハンドリングの採用により、他のモデル同様の高マーキング品質を提供しながら低コストを実現しています。

~8インチ量産対応モデル “IL 2000”

● 大量で高スループットが必要な生産ライン向けに設計された、8インチウェハーまで対応の装置です。

 

● 4個のロード / アンロードステーションを持ち、200枚 / 時の高スループットを達成しています。

 

● ウェハーソーターとしても使用可能(オプション)です。

300mmハードマーク用モデル “IL 3000”

● 300㎜ウェハーハードマーク用の装置です。

 

● オープンカセット用の4個のロード / アンロードステーションが有ります。

 

● ウェハーソーターとしても使用可能(オプション)です。

1カセット・オート搬送モデル “IL 1000”

● 1ロード/アンロードステーションのフルオートマチック、ウェハーマーキング装置です。

 

● 装置内部や外部からの振動の影響を受けないように、光学部品の取り付けベースに大型の天然素材防振台を採用しています。

 

● 既存装置のバックアップ機として、また中規模生産量のライン向け装置として設計されています。

300mmソフトマーク用モデル “IL C3000”

● FOUPカセットローダー搭載の300㎜ウェハーソフトマーク用装置です。

 

● デブリスフリーのソフトマークが可能です。

 

● Clean Class 4(ISO EN 14644-1)のミニエンバイロンメントでプロセス中のウェハー表面のクリーン度を保ちます。

● PGV, AGV及びOHT対応のフルオートメーションシステムです。

2~8インチ対応ウェハーソーター “IL 2600”

● 2インチから8インチウェハーまで対応のウェハーソーターです。

 

● ウェハーID、ウェハー重量及びウェハー厚み(オプション)でのソーティングが可能です。

 

● 6個のInput / Outputカセットステーションを持ち、高スループットを実現しています。

 

● お客様の様々なご要望に応えるため、多くのオプションを準備し、各お客様用にシステムをカスタマイズ可能です。

300mm用ウェハーソーター “ILC 3X00”

● Clean Class 4(ISO EN 14644-1)のミニエンバイロンメント環境下で300㎜ウェハーのソーティングやインスペクションを行う装置です。

 

● お客様のご要望により、1機から7機までのロードポートを搭載可能です。

 

● PGV, AGV及びOHT対応のフルオートメーションシステムです。

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