ウェハーマーキング装置の販売、サポートは東京都品川区の兼松PWS株式会社

● Clean Class 4（ISO EN 14644-1）のミニエンバイロンメント環境下で300㎜ウェハーのソーティングやインスペクションを行う装置です。

● お客様のご要望により、1機から7機までのロードポートを搭載可能です。

● PGV, AGV及びOHT対応のフルオートメーションシステムです。