製品一覧PRODUCT LINE
製品のご紹介
当社が取り扱っている製品の一部をご紹介します。
簡易コンパクトモデル “IL 600”
● 少量生産のラインやR&Dラボ向けに設計された省スペースのコンパクトな装置です。
● 完全なマニュアルハンドリングの採用により、他のモデル同様の高マーキング品質を提供しながら低コストを実現しています。
～８インチ量産対応モデル “IL 2000”
● 大量で高スループットが必要な生産ライン向けに設計された、8インチウェハーまで対応の装置です。
● 4個のロード / アンロードステーションを持ち、200枚 / 時の高スループットを達成しています。
● ウェハーソーターとしても使用可能（オプション）です。
300mmハードマーク用モデル “IL 3000”
● 300㎜ウェハーハードマーク用の装置です。
● オープンカセット用の4個のロード / アンロードステーションが有ります。
● ウェハーソーターとしても使用可能（オプション）です。
1カセット・オート搬送モデル “IL 1000”
● 1ロード/アンロードステーションのフルオートマチック、ウェハーマーキング装置です。
● 装置内部や外部からの振動の影響を受けないように、光学部品の取り付けベースに大型の天然素材防振台を採用しています。
● 既存装置のバックアップ機として、また中規模生産量のライン向け装置として設計されています。
300mmソフトマーク用モデル “IL C3000”
● FOUPカセットローダー搭載の300㎜ウェハーソフトマーク用装置です。
● デブリスフリーのソフトマークが可能です。
● Clean Class 4(ISO EN 14644-1)のミニエンバイロンメントでプロセス中のウェハー表面のクリーン度を保ちます。
● PGV, AGV及びOHT対応のフルオートメーションシステムです。
２～８インチ対応ウェハーソーター “IL 2600”
● 2インチから8インチウェハーまで対応のウェハーソーターです。
● ウェハーID、ウェハー重量及びウェハー厚み（オプション）でのソーティングが可能です。
● 6個のInput / Outputカセットステーションを持ち、高スループットを実現しています。
● お客様の様々なご要望に応えるため、多くのオプションを準備し、各お客様用にシステムをカスタマイズ可能です。
300mm用ウェハーソーター “ILC 3X00”
● Clean Class 4（ISO EN 14644-1）のミニエンバイロンメント環境下で300㎜ウェハーのソーティングやインスペクションを行う装置です。
● お客様のご要望により、1機から7機までのロードポートを搭載可能です。
● PGV, AGV及びOHT対応のフルオートメーションシステムです。
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