製品詳細PRODUCT DETAILS
300mmハードマーク用モデル “IL 3000”
● 300㎜ウェハーハードマーク用の装置です。
● オープンカセット用の4個のロード / アンロードステーションが有ります。
● ウェハーソーターとしても使用可能(オプション)です。
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● 300㎜ウェハーハードマーク用の装置です。
● オープンカセット用の4個のロード / アンロードステーションが有ります。
● ウェハーソーターとしても使用可能(オプション)です。