ウェハーマーキング装置の販売、サポートは東京都品川区の兼松PWS株式会社

● FOUPカセットローダー搭載の300㎜ウェハーソフトマーク用装置です。

● デブリスフリーのソフトマークが可能です。

● Clean Class 4(ISO EN 14644-1)のミニエンバイロンメントでプロセス中のウェハー表面のクリーン度を保ちます。

● PGV, AGV及びOHT対応のフルオートメーションシステムです。