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300mm用ウェハーソーター “ILC 3X00”

● Clean Class 4(ISO EN 14644-1)のミニエンバイロンメント環境下で300㎜ウェハーのソーティングやインスペクションを行う装置です。

 

● お客様のご要望により、1機から7機までのロードポートを搭載可能です。

 

● PGV, AGV及びOHT対応のフルオートメーションシステムです。

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