製品詳細PRODUCT DETAILS
300mm用ウェハーソーター “ILC 3X00”
● Clean Class 4(ISO EN 14644-1)のミニエンバイロンメント環境下で300㎜ウェハーのソーティングやインスペクションを行う装置です。
● お客様のご要望により、1機から7機までのロードポートを搭載可能です。
● PGV, AGV及びOHT対応のフルオートメーションシステムです。
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