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300mmハードマーク用モデル “IL 3000”

● 300㎜ウェハーハードマーク用の装置です。

 

● オープンカセット用の4個のロード / アンロードステーションが有ります。

 

● ウェハーソーターとしても使用可能(オプション)です。

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