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300mmソフトマーク用モデル “IL C3000”

● FOUPカセットローダー搭載の300㎜ウェハーソフトマーク用装置です。

 

● デブリスフリーのソフトマークが可能です。

 

● Clean Class 4(ISO EN 14644-1)のミニエンバイロンメントでプロセス中のウェハー表面のクリーン度を保ちます。

● PGV, AGV及びOHT対応のフルオートメーションシステムです。

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