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1カセット・オート搬送モデル “IL 1000”

● 1ロード/アンロードステーションのフルオートマチック、ウェハーマーキング装置です。

 

● 装置内部や外部からの振動の影響を受けないように、光学部品の取り付けベースに大型の天然素材防振台を採用しています。

 

● 既存装置のバックアップ機として、また中規模生産量のライン向け装置として設計されています。

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