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~8インチ量産対応モデル “IL 2000”

● 大量で高スループットが必要な生産ライン向けに設計された、8インチウェハーまで対応の装置です。

 

● 4個のロード / アンロードステーションを持ち、200枚 / 時の高スループットを達成しています。

 

● ウェハーソーターとしても使用可能(オプション)です。

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