ウェハーマーキング装置の販売、サポートは東京都品川区のルモニクス株式会社

● 大量で高スループットが必要な生産ライン向けに設計された、8インチウェハーまで対応の装置です。

● 4個のロード / アンロードステーションを持ち、200枚 / 時の高スループットを達成しています。

● ウェハーソーターとしても使用可能（オプション）です。